产品名称:XZ-150轮廓仪 |
产品型号:XZ-150 |
产品产地:国产 |
项目型号 |
XZ-150 | |
气浮工作台 |
气浮形式 |
开式 |
移动精度 |
Z:≤0.2um/80mm | |
光栅尺 |
精度 |
X:≤5um/150mm |
产地 |
国产 | |
传感器 |
量程 |
6mm(可扩展) |
分辨率 |
1/65536 | |
测量范围 |
轴 |
Ф1-100 mm |
套 |
≤Ф200 mm | |
长度 |
140 mm | |
其他 |
标配附件 |
|
可选附件 |
||
工作台移动速度 |
0.2-0.4mm/s | |
机械调速(分三档) | ||
所需电源 |
220V 50Hz 0.5Kw | |
所需气源压力 |
纯净空气≥0.5Mpa |
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